熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。按照安裝方式的不同，我們可以將其分為兩種，一種是插入式，另一種則是管段式，其中： 1、插入式：插入式傳感器可在線安裝、在線維護。安裝過程是首先在管道外壁上焊接帶有外螺紋的底座，在底座上安裝1寸不銹鋼球閥，而后用專用工具將管道打直徑為22mm的孔，打孔完畢后卸下專用工具，最后將傳感器安裝在閥門上并將傳感器插入到管內中心(傳感器的插入位置出廠時已確定)。
2、管段式：管段式熱式氣體質量流量計出廠時已配備和現(xiàn)場管道內徑相同的工藝管道。與現(xiàn)場管道的連接方式為法蘭連接或螺紋連接。法蘭標準符合國標GB/T9119-2000。傳感器材質為不銹鋼，管道材質為碳鋼或不銹鋼。
隨著技術的提升，熱式氣體質量流量計已被廣泛應用于各行各業(yè)中，其中：
1、電力行業(yè)：燃料系統(tǒng)中氣體分配過程中的氣體測量；鍋爐及輔助系統(tǒng)中各種氣體的測量；燃氣爐氣體測量；氫氣測量；電廠高爐的一次風、二次風的測量；
2、石油與天然氣工業(yè)：能量交換；填井氣回收；燃氣計量；氣體質量分析；泄漏氣測試；天然氣測量；火炬氣的監(jiān)控；
3、化學行業(yè)：煙氣循環(huán)監(jiān)測；采樣系統(tǒng)中氣體流量計量；引風機的氣體流量計量；化肥廠氨氣測量；電池工廠各種氣體流量測量；
4、紙漿與造紙行業(yè)：廢水處理系統(tǒng)中氣體的測量；煙道流量監(jiān)控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風測量；
5、冶金行業(yè)：鋼鐵廠加氣測量；煉鐵廠高爐煤氣的測量；焦化廠焦爐煤氣的測量；軋鋼廠加熱爐燃氣（高爐煤氣、焦化煤氣、天然氣等）的測量控制；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的控制。
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